罗茨真空机组在汽蚀状态下长时间工作，会产成噪音、振动大等状况，要避免在汽蚀状态下工作：
1、降低工作液的温度
罗茨真空机组工作点为固定值前提下，降低工作液的温度可以达到防止汽蚀的作用。使用更低的饱和蒸汽压的液体作为工作液。
2、在安全区域运行，提高选型的准确性
要求在选型阶段，选择吸入压力及工作液温度时尽量避开容易发生汽蚀的压力范围。
3、安装汽蚀保护管路或单向阀
汽蚀过程中所产生的气泡在压缩过程中破裂时，从外部引入压力较高的不凝气体能够及时补充因气泡破裂而出现的空间，这样可以大大减少汽蚀对泵的损害及降低汽蚀引起的噪声和振动。泵的叶轮、圆盘采用防汽蚀能力较强的材质。
4、配大气喷射器
罗茨真空机组的吸气口配有大气喷射器，则不易发生汽蚀问题。汽蚀是由于罗茨真空机组内液体压力下降造成的，降低这种发生率可使用以上方法。
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