1、对工作蒸汽及其干度，蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。
2、对循环冷却水要求，冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。
3、对真空泵系统密封要求，真空泵处于极限状态时，第1级排出的水很少，有时甚至没有。因此，第1级泵有大量水排出，可以认为是系统有泄漏。通常的漏气原因是垫片没装、装错或损坏，螺栓未拧紧，法兰面损坏，焊缝有沙眼，接头未装好。
4、喷嘴是影响真空泵性能的重要部件，存在的问题有喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏。
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