罗茨真空机组是由多个泵来组成的，从而达到更高的使用要求：
一、水环泵
罗茨真空机组中水环泵的作用是产生所需的预备真空，要求该水环泵的最大允许排气压力。一方面要尽量提高水环泵的极限真空，另一方面，也要设法提高罗茨泵的最大允许排气压力。
一台罗茨真空机组的极限真空度是较低的，特别是当它与水环泵组合运行时，使用范围受限制，整个极限真空度可能较低，如果使用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就能较大的提高机组的极限真空度。这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级水环泵作前级泵组成机组。
二、罗茨泵-水环泵-大气泵机组
即使采用双级水环泵，极限真空度的提高也是有限的，是因为受到水的饱和蒸汽压的限制。水环泵的理论极限压力是水的饱和蒸汽压。要是考虑气体返流等因素所受到的影响，水环泵的极限压力显着比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为提高前级泵的极限真空度，可以使水环泵与大气泵组合成罗茨真空机组使用。
三、罗茨泵-水环泵并联机械真空泵
此类机组主要用于需要处理大量水蒸汽时使用，且极限真空度要求较高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。罗茨真空机组的组合类型主要有上述三种，减少了由气流等因素引起的故障，动力更强。
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