无油爪式真空泵主要用于获取无油真空，且要求很高真空环境。广泛应用于航空航天、核工业、电子、化工、生物制药、冶金、特殊气体制造等，适用于真空蒸馏、分子蒸馏、真空镀膜、无泄露气体传输、真空制备材料等工艺，在普通大气、富含水蒸气、酒精、汽油等特殊环境下都可。清洁抽空，并可抽除含有可凝性气体及一定量粉尘气体的真空环境。并且使用寿命长，维护方便，成本低。无油式真空泵可以和罗茨泵或分子泵组成无油中真空及无油高真空机组。

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