1、真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速；
2、真空泵转子具有较好的几何对称性，振动小、运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可减小驱动功率，实现较高转速；
3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
5、压缩比较低，对氢气抽气效果差；
6、转子表面为形状复杂的曲线柱面，加工和检查较困难些。
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